プロセス制御、品質保証・品質管理
ラマン分光法は産業環境で導入可能であり、プロセス効率に関する非侵襲的かつ迅速なフィードバックを提供します。例えば、石油化学製品のオンライン監視や、医薬品業界における錠剤などの製造・合成製品の品質管理(有効成分分布のマッピング)、半導体業界におけるウェハー品質管理(欠陥・応力の特定)などが挙げられます。
例えば、様々な環境下における多様な試料の化学組成について、極めて特異的な情報を提供します。近赤外領域では、表面オフセットラマン分光法(SORS)を用いて、不透明(かつ蛍光を発する可能性のある)材料を通して化学種をプローブすることが可能です。
また、半導体デバイスの性能に影響を及ぼす可能性のあるウェハー内の欠陥、不純物、応力について、空間分解能のあるフィードバック情報を提供するのにも使用できます。
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