Marana-X sCMOS

Marana-X は、EUV および軟 X 線アプリケーションに特化した、アンドールの画期的な sCMOS プラットフォームです。
市場をリードする性能と汎用性を実現するために開発されたMarana-Xは、非常に低い読み取りノイズを維持しながら、4.2メガピクセルの高解像度アレイを50ミリ秒未満で読み取ります。Marana-Xは、11μm 4.2メガピクセルの大面積タイプと6.5μm 4.2メガピクセルの2種類をご用意しています。

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高解像度 - 420万画素
高感度 - 量子効率99%
高速性 - 74 fps
広ダイナミックレンジ - 16ビット
EMP 耐性 - データインターフェイス

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Marana-XはEUVおよび軟X線アプリケーションに特化したアンドールの画期的なsCMOSプラットフォームです。市場をリードする性能と汎用性を実現するために開発されたMarana-Xは、420万画素の高解像度アレイを50ミリ秒以下で読み出しを可能にし、さらに非常に低い読み出しノイズを達成しています。同じような解像度をもつCCD検出器より数百倍の高速読み出しが可能です。

卓越した量子効率

新しいMarana-X sCMOSは、EUV-1 keVのエネルギー領域において、従来のCCDに比べて優れた量子効率を誇ります。Marana-Xの優れた量子効率は、ハイエンドの科学用CMOS技術を補完するもので、実験時間の最小化と74 fpsの高速フルフレームによる最大のデータスループットを可能にしています。さらに、Marana-Xの量子効率と寿命については、原田氏らが最近発表した科学論文で十分に評価されています。

最大99%のQEと低ノイズ - 微弱光測定において、最大のS/N比を実現。高コントラストをより短い露光時間で実現

真空冷却 -45°C - 非常に微弱な信号の検出には最小のノイズフロアと長時間露光が必要です：カメラ熱雑音の影響を最小限に

420万画素 - 高解像度・広視野で鮮明な画像取得

世界で唯一の非コーティング背面照射型sCMOS - Marana-Xは、世界で初めて非コーティング背面照射型sCMOSセンサーを搭載し、圧倒的なEUV-軟X線検出性能を実現しました

拡張ダイナミックレンジ (EDR) モード搭載 - 1枚の画像取得で低輝度から高輝度までフルダイナミックレンジをカバー

> 99.7%の直線性 - 全シグナルレンジにおいて市場をリードする定量的精度を達成

空冷と水冷を標準装備 - 水冷で最高の感度を実現

Spec sheet

Marana-X sCMOS Specifications

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モデル	Marana-X 4.2B-6
センサータイプ	背面照射型サイエンティフィックCMOS
アレイサイズ	2048 (W) x 2048 (H) 4.2 メガピクセル
ピクセルサイズ	6.5 x 6.5 µm
イメージエリア	13.3 mm x 13.3 mm (対角 18.8 mm)
読み出しモード	ローリングシャッター
ピクセル読み出し速度	310 MHz (高速・広ダイナミックレンジモード, 16ビット) 180 MHz (低ノイズモード, 12ビット)
量子効率	99%
読み出しノイズ (e-) 中央値	1.6 e- (高速・広ダイナミックレンジモード, 16ビット) 1.2 e- (低ノイズモード, 12ビット)
アクティブエリア量子井戸	55 000 e- (高速・広ダイナミックレンジモード, 16ビット) 1800 e- (低ノイズモード, 12ビット)
ダイナミックレンジ	34 000:1 (高速・広ダイナミックレンジモード, 16ビット)